Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники : Автореферат диссертации : 05.27.01 / Турцевич,Аркадий Степанович.
Автор(ы): Турцевич, Аркадий СтепановичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2004ББК: 05.27.01 ; 47.09Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.