Отметить все Снять все отметки
1. Ковенский, А. Е. Повышение качества разделения полупроводниковых пластин и подложек материалов электронной техники на кристаллы путем адаптивного управления прецизионными приводами оборудования : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ковенский Алексей Евгеньевич ; Государственное научное учреждение "Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси" УДК 621.38-03:621.315.592:621.961.2(043.3) УДК 621.961.2.06-52(043.3). — ББК 34Издательство: Минск, 2024Физическая характеристика: 24 с. : ил., цв. ил. Действия: Заказать Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки. Добавить в корзину
Языки: