| 000 | 03660cam0 2200553 ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-NLB-br0001786305 | ||
| 005 | 20221116082952.0 | ||
| 100 | ^a20220825d2022 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
^arus ^deng ^dbel ^drus |
|
| 102 | ^aBY | ||
| 105 | ^aa m 000yy | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aФормирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния ^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук ^eспециальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах ^fНаливайко Олег Юрьевич ^gУчреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
|
| 210 |
^aМинск ^d2022 |
||
| 215 |
^a25 с. ^cил. |
||
| 300 | ^aРезюме параллельно на белорусском, русском, английском языках | ||
| 320 | ^aБиблиография: с. 17—22 (47 назв.) | ||
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar2246902 ^aКРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar1733874 ^aТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar4760361 ^aХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar33874 ^aТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar33866 ^aТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar3334434 ^aСУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar33870 ^aТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar1659663 ^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar3171698 ^aПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar15827 ^aЛЕГИРОВАНИЕ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar36350 ^aФОСФОР ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar6196 ^aВОЛЬФРАМ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar2493283 ^aХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ^2DVNLB |
|
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 675 |
^a621.382.049.77-027.3:621.793/.794(043.3) ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a47.33.31 ^2rugasnti ^96 |
||
| 686 |
^a47.13.11 ^2rugasnti ^96 |
||
| 686 |
^a55.22.01 ^2rugasnti ^96 |
||
| 686 |
^a05.27.01 ^2nsnrrb |
||
| 690 |
^a5 ^xRSEK ^2Base ^9BY-HR0000 |
||
| 700 | 1 |
^3BY-NLB-ar2502673 ^aНаливайко ^bО. Ю. ^gОлег Юрьевич ^cэлектроника |
|
| 712 | 0 | 2 |
^3BY-NLB-ar186905 ^aБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ^cМинск ^4995 ^4595 |
| 712 | 0 | 2 |
^3BY-NLB-ar7184106 ^a"Интеграл" ^gоткрытое акционерное общество ^cМинск ^bУправляющая компания холдинга "Интеграл" ^4595 |
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HM0000 ^c20220825 ^gRCR |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20221111 ^gRCR |
|
| 830 | ^a06.10.2022 | ||
| 856 | 4 | ^uhttp://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/57594/2/default.htm | |
| 035 | ^a(BY-HR0000)BY-NLB-br0001786305 | ||
| 899 | 0 |
^aBY-HR0000 ^iН 23 |
|