| 000 | 01344cam0 22003491ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br115794 | ||
| 005 | 20211216130836.0 | ||
| 010 | ^d300р. | ||
| 100 | ^a20120213d2002 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aФормирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок ^eАвтореф. диссерт. ^e05.27.01 ^fПрудник,Александр Михайлович. |
|
| 210 |
^aМн. ^d2002 |
||
| 675 |
^a621.382.002 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.01 ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a47.01 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aЛИТОГРАФИЯ | |
| 610 | 0 | ^aТОНКИЕ ПЛЕНКИ | |
| 610 | 0 | ^aАНОДЫ | |
| 610 | 0 | ^aОКИСЛЕНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aЛIТАГРАФIЯ | |
| 610 | 0 | ^aТОНКIЯ ПЛЁНКI | |
| 610 | 0 | ^aАКIСЛЕННЕ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aПрудник ^bА. М. ^gАлександр Михайлович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h |
||