| 000 | 01670cam0 22004571ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br117264 | ||
| 005 | 20211216130845.0 | ||
| 010 | ^d300р. | ||
| 100 | ^a20120213d2002 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aИнтегрированные ионно - плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях ^eАвтореф. диссерт. ^e05.27.06 ^fЗавадский,Сергей Михайлович. |
|
| 210 |
^aМн. ^d2002 |
||
| 675 |
^a621.3.049.77:621.793 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.06 ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a47.13.11 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aИОНЫ | |
| 610 | 0 | ^aПЛЕНКИ | |
| 610 | 0 | ^aИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА | |
| 610 | 0 | ^aАДГЕЗИЯ | |
| 610 | 0 | ^aОКСИДЫ | |
| 610 | 0 | ^aРЕЛЬЕФ | |
| 610 | 0 | ^aНАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ | |
| 610 | 0 | ^aРАСПЫЛЕНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aIОНЫ | |
| 610 | 0 | ^aПЛЁНКI | |
| 610 | 0 | ^aIОННА-ПРАМЯНЁВАЯ АПРАЦОЎКА | |
| 610 | 0 | ^aАДГЕЗIЯ | |
| 610 | 0 | ^aАКСIДЫ | |
| 610 | 0 | ^aРЭЛЬЕФ | |
| 610 | 0 | ^aНАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ | |
| 610 | 0 | ^aРАСПЫЛЕННЕ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aЗавадский ^bС. М. ^gСергей Михайлович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h |
||