| 000 | 01322cam0 22003611ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br118391 | ||
| 005 | 20211216130855.0 | ||
| 010 |
^d500р. ^a985-418-080-8 |
||
| 100 | ^a20120213d2001 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aRU | ||
| 105 | ^aa z 000yy | ||
| 109 | ^aaa | ||
| 200 | 1 |
^aХимическая обработка в технологии ИМС ^fАвт.: В.П.Василевич, А.М.Кисель, А.Б.Медведева и др. |
|
| 210 |
^aПолоцк ^cПГУ ^d2001 |
||
| 215 | ^a259с. | ||
| 345 | ^9200экз. | ||
| 686 |
^a32.844.15-060.14 ^v2 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a47.33.31 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА | |
| 610 | 0 | ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aТЕХНОЛОГИЯ | |
| 610 | 0 | ^aТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА | |
| 610 | 0 | ^aХIМIЧНАЯ АПРАЦОЎКА | |
| 610 | 0 | ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ МIКРАСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aТЭХНАЛОГIЯ | |
| 610 | 0 | ^aТЭХНАЛОГIЯ ВЫТВОРЧАСЦI | |
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h32.844.15-060.14 ^iХ 46 |
||