| 000 | 03408cam0 2200541 ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-NLB-br0001919855 | ||
| 100 | ^a20240529d2024 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
^arus ^dbel ^drus ^deng |
|
| 102 | ^aBY | ||
| 105 | ^aa m 000yy | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aПовышение качества разделения полупроводниковых пластин и подложек материалов электронной техники на кристаллы путем адаптивного управления прецизионными приводами оборудования ^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук ^eспециальность 05.02.02 Машиноведение, системы приводов и детали машин ^fКовенский Алексей Евгеньевич ^gГосударственное научное учреждение "Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси" |
|
| 210 |
^aМинск ^d2024 |
||
| 215 |
^a24 с. ^cил., цв. ил. |
||
| 300 | ^aРезюме параллельно на белорусском, русском, английском языках | ||
| 320 | ^aБиблиография: с. 20―21 (20 назв.) | ||
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar39076 ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar25440 ^aПРИВОДЫ (техн.) ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar1801 ^aАДАПТИВНОЕ УПРАВЛЕНИЕ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar2113377 ^aМАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar17342 ^aЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar24588 ^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar24620 ^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar24113 ^aПОДЛОЖКИ (электроника) ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar27847 ^aРЕЗКА (технол. процесс) ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar3335454 ^aПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar33890 ^aТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ^2DVNLB |
|
| 606 | 0 |
^3BY-NLB-ar6167885 ^aПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ^2DVNLB |
|
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 675 |
^a621.38-03:621.315.592:621.961.2(043.3) ^v4 ^zrus |
||
| 675 |
^a621.961.2.06-52(043.3) ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a34 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a47.09.29 ^2rugasnti ^96 |
||
| 686 |
^a47.13 ^2rugasnti ^96 |
||
| 686 |
^a55.19.13 ^2rugasnti ^96 |
||
| 686 |
^a55.16.23 ^2rugasnti ^96 |
||
| 686 |
^a55.01.85 ^2rugasnti ^96 |
||
| 686 |
^a05.02.02 ^2nsnrrb |
||
| 690 |
^a5 ^xRSEK ^2Base ^9BY-HR0000 |
||
| 700 | 1 |
^3BY-CNB-ar2423189 ^aКовенский ^bА. Е. ^gАлексей Евгеньевич ^cэлектронная техника |
|
| 712 | 0 | 2 |
^3BY-NLB-ar2492220 ^aОбъединенный институт машиностроения ^cМинск ^4595 ^4995 |
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HM0000 ^c20240529 ^gRCR |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20241205 ^gRCR |
|
| 035 | ^a(BY-HR0000)BY-NLB-br0001919855 | ||
| 899 | 0 |
^aBY-HR0000 ^iК 56 |
|