| 000 | 01738cam0 22004691ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br154054 | ||
| 005 | 20211216131555.0 | ||
| 010 | ^d400р. | ||
| 100 | ^a20120213d2003 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aПроцессы и устройства СВЧ плазмохимического удаления материалов при формировании изделий электронной техники ^eАвтореф. диссерт. ^e05.27.06 ^fБордусов,Сергей Валентинович. |
|
| 210 |
^aМн. ^d2003 |
||
| 675 |
^a621.382.002 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.06) ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a29.19.31 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 686 |
^a47 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aСВЧ | |
| 610 | 0 | ^aПЛАЗМА | |
| 610 | 0 | ^aПЛАЗМОТРОНЫ | |
| 610 | 0 | ^aВАКУУМ | |
| 610 | 0 | ^aПЛЕНКИ | |
| 610 | 0 | ^aПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ | |
| 610 | 0 | ^aУСТРОЙСТВО | |
| 610 | 0 | ^aФОРМИРОВАНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА | |
| 610 | 0 | ^aЗВЧ | |
| 610 | 0 | ^aПЛАЗМАТРОНЫ | |
| 610 | 0 | ^aПЛЁНКI | |
| 610 | 0 | ^aПЛАЗМАХIМIЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ | |
| 610 | 0 | ^aУСТРОЙСТВА | |
| 610 | 0 | ^aФАРМIРАВАННЕ | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНIКА | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aБордусов ^bС. В. ^gСергей Валентинович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h |
||