000 01750cam0 22004451ia4500
001 BY-HR0000-br370945
005 20211216131749.0
010 ^d500р.
100 ^a20120213d2004 m y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aBY
109 ^aac
^aaa
200 1 ^aФизико-химические процессы при ионно-ассистированном формировании металлосодержащих покрытий на кремнии и графите
^eАвтореф. диссерт.
^e01.04.07
^fБобрович,Олег Георгиевич.
210 ^aМн.
^d2004
675 ^a539.211:539.23.234:537.534:621.793
^v4
^zrus
686 ^a01.04.07)
^2nsnrrb
686 ^a38.35.15
^v4
^2rugasnti
610 0 ^aИОННО-АССИСТИРОВАННОЕ НАНЕСЕНИЕ
610 0 ^aПОКРЫТИЯ
610 0 ^aМЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
610 0 ^aКРЕМНИЙ
610 0 ^aГРАФИТ
610 0 ^aЭНЕРГИЯ
610 0 ^aКСЕНОН
610 0 ^aФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
610 0 ^aIОННА-АСIСТАВАНАЕ НАНЯСЕННЕ
610 0 ^aПАКРЫЦЦI
610 0 ^aМЕТАЛIЧНЫЯ ПАКРЫЦЦI
610 0 ^aКРЭМНIЙ
610 0 ^aГРАФIТ
610 0 ^aЭНЕРГIЯ
610 0 ^aФIЗIКА-ХIМIЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
700 1 ^aБобрович
^bО. Г.
^gОлег Георгиевич
801 0 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20120213
^gpsbo
801 1 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20170521
^gpsbo
690 ^a5
^2Base
^9BY-HR0000
^xRSEK
899 ^aBY-HR0000
^h