| 000 | 01863cam0 22004451ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br398577 | ||
| 005 | 20211216132347.0 | ||
| 010 | ^d500р. | ||
| 100 | ^a20120213d2004 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aФормирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники ^eАвтореферат диссертации ^e05.27.01 ^fТурцевич,Аркадий Степанович. |
|
| 210 |
^aМн. ^d2004 |
||
| 675 |
^a621.3.049.774.002:539.219.3. ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.01 ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a47.09 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aГАЗОВАЯ ФАЗА | |
| 610 | 0 | ^aСТРУКТУРА | |
| 610 | 0 | ^aМОРФОЛОГИЯ | |
| 610 | 0 | ^aТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aКОНДЕНСАТОРЫ | |
| 610 | 0 | ^aДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ | |
| 610 | 0 | ^aХIМIЧНАЕ АСАДЖЭННЕ | |
| 610 | 0 | ^aГАЗАВАЯ ФАЗА | |
| 610 | 0 | ^aМАРФАЛОГIЯ | |
| 610 | 0 | ^aЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aКАНДЭНСАТАРЫ | |
| 610 | 0 | ^aДЫЭЛЕКТРЫЧНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aТурцевич ^bА. С. ^gАркадий Степанович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h |
||