| 000 | 01872cam0 22004571ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br407466 | ||
| 005 | 20211216132552.0 | ||
| 010 | ^d600р. | ||
| 100 | ^a20120213d2005 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aФормирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии ^eАвтореферат диссертации ^e05.27.01 ^fКоробко,Юлия Олеговна. |
|
| 210 |
^aМн. ^d2005 |
||
| 675 |
^a621.382.049.77.002:776 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.01 ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a47.33.31 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕМЕНТЫ | |
| 610 | 0 | ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aКОНТРОЛЬ | |
| 610 | 0 | ^aТОПОЛОГИЯ | |
| 610 | 0 | ^aТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aНАНОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aФОТОЛИТОГРАФИЯ | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aЛIКАВАЕ МАДЭЛIРАВАННЕ | |
| 610 | 0 | ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ МIКРАСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aКАНТРОЛЬ | |
| 610 | 0 | ^aТАПАЛОГIЯ | |
| 610 | 0 | ^aЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aНАНАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aКоробко ^bЮ. О. ^gЮлия Олеговна |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h |
||