| 000 | 01722cam0 22004571ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br460886 | ||
| 005 | 20211216133641.0 | ||
| 010 |
^d65к. ^a5-256-00006-3 |
||
| 100 | ^a20120213d1988 z y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aRU | ||
| 105 | ^aa z 000yy | ||
| 109 | ^aca | ||
| 200 | 1 |
^aТехнологический контроль размеров в микроэлектронном производстве ^fЮ.А.Быстров, Е.А.Колгин, Б.Н.Котлецов |
|
| 210 |
^aМ. ^cРадио и связь ^d1988 |
||
| 215 | ^a167с. | ||
| 320 | ^aБиблиогр.: с. 162-166 | ||
| 345 | ^99000 экз. | ||
| 686 |
^a32.844.1 ^v2 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a47.14.17 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aРАДИОТЕХНИКА | |
| 610 | 0 | ^aРАДИОАППАРАТУРА | |
| 610 | 0 | ^aРАДИОЭЛЕКТРОННАЯ АППАРАТУРА | |
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА | |
| 610 | 0 | ^aМИКРОСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aРАДЫЁТЭХНIКА | |
| 610 | 0 | ^aРАДЫЁАПАРАТУРА | |
| 610 | 0 | ^aРАДЫЁЭЛЕКТРОННАЯ АПАРАТУРА | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНIКА | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАСХЕМЫ | |
| 700 | 1 |
^aБыстров ^bЮ. А. ^gЮрий Александрович |
|
| 701 | 1 |
^aКолгин ^bЕ. А. |
|
| 701 | 1 |
^aКотлецов ^bБ. Н. |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h32.844.1 ^iБ 95 |
||