000 | 01717cam0 22004211ib4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BY-HR0000-br460974 | ||
005 | 20211216133642.0 | ||
010 | ^d1р.90к. | ||
100 | ^a20120213d1984 k y0rusy50 ca | ||
101 | 0 | ^arus | |
102 | ^aRU | ||
105 | ^aa z 000yy | ||
109 | ^aaa | ||
200 | 1 |
^aЭлектронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов ^fДж.Р.Брюэр, Д.С.Гринич, Д.Р.Херриот ^gпод ред. Дж.Р.Брюэра ^g пер. с англ. под ред. Ф.П.Пресса |
|
210 |
^aМ. ^cРадио и связь ^d1984 |
||
215 | ^a336с. | ||
320 | ^aБиблиогр.: с. 316-328 | ||
345 | ^95700 экз. | ||
686 |
^a32.844.1 ^v2 ^2rubbk |
||
686 |
^a47.41 ^v4 ^2rugasnti |
||
610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
610 | 0 | ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | |
610 | 0 | ^aПРОИЗВОДСТВО | |
610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА | |
610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА | |
610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
610 | 0 | ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ | |
610 | 0 | ^aВЫТВОРЧАСЦЬ | |
610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННА-ПРАМЯНЁВАЯ АПРАЦОЎКА | |
610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНIКА | |
701 | 1 |
^aБрюэр ^bД. Р. ^gДжордж Р |
|
701 | 1 |
^aПресс ^bФ. П. ^gФеликс Павлович |
|
801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
690 |
^a1 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
899 |
^aBY-HR0000 ^h32.844.1 ^iЭ 45 |