000 01717cam0 22004211ib4500
001 BY-HR0000-br460974
005 20211216133642.0
010 ^d1р.90к.
100 ^a20120213d1984 k y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aRU
105 ^aa z 000yy
109 ^aaa
200 1 ^aЭлектронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
^fДж.Р.Брюэр, Д.С.Гринич, Д.Р.Херриот
^gпод ред. Дж.Р.Брюэра
^g пер. с англ. под ред. Ф.П.Пресса
210 ^aМ.
^cРадио и связь
^d1984
215 ^a336с.
320 ^aБиблиогр.: с. 316-328
345 ^95700 экз.
686 ^a32.844.1
^v2
^2rubbk
686 ^a47.41
^v4
^2rugasnti
610 0 ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА
610 0 ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
610 0 ^aПРОИЗВОДСТВО
610 0 ^aЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
610 0 ^aМИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
610 0 ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА
610 0 ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
610 0 ^aВЫТВОРЧАСЦЬ
610 0 ^aЭЛЕКТРОННА-ПРАМЯНЁВАЯ АПРАЦОЎКА
610 0 ^aМIКРАЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНIКА
701 1 ^aБрюэр
^bД. Р.
^gДжордж Р
701 1 ^aПресс
^bФ. П.
^gФеликс Павлович
801 0 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20120213
^gpsbo
801 1 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20170521
^gpsbo
690 ^a1
^2Base
^9BY-HR0000
^xRSEK
899 ^aBY-HR0000
^h32.844.1
^iЭ 45