000 01361cam0 22003371ib4500
001 BY-HR0000-br461260
005 20211216133645.0
010 ^d1р.60к.
^a5-06-000731-6
100 ^a20120213d1991 j y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aRU
105 ^aa j 000yy
109 ^aga
200 1 ^aАвтоматизация технологического оборудования микроэлектроники
^eучеб. пособие для приборостроит. спец. вузов
^fА.А.Сазонов и др.
^gпод ред. А.А.Сазонова
210 ^aМ.
^cВысшая школа
^d1991
215 ^a334с.
320 ^aБиблиогр.: с. 332 (12 назв.)
345 ^911000 экз.
686 ^a32.844.1-06я73
^v2
^2rubbk
686 ^a47.33.31
^v4
^2rugasnti
610 0 ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА
610 0 ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
610 0 ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА
610 0 ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
701 1 ^aСазонов
^bА. А.
^gАлександр Афанасьевич
801 0 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20120213
^gpsbo
801 1 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20170521
^gpsbo
690 ^a1
^2Base
^9BY-HR0000
^xRSEK
899 ^aBY-HR0000
^h32.844.1-06я73
^iА 22