000 01716cam0 22004451ib4500
001 BY-HR0000-br463141
005 20211216133710.0
010 ^d1р.
100 ^a20120213d1986 j y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aRU
105 ^aa j 000yy
109 ^aga
200 1 ^aОборудование полупроводникового производства
^eучеб. пособие для вузов
^fБлинов,Иван Григорьевич.
210 ^aМ.
^cМашиностроение
^d1986
215 ^a263с.
345 ^911000 экз.
686 ^a32.852-5я73
^v2
^2rubbk
686 ^a47.09.29
^v4
^2rugasnti
686 ^a47.13.11
^v4
^2rugasnti
610 0 ^aЭЛЕКТРОНИКА
610 0 ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
610 0 ^aЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ
610 0 ^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
610 0 ^aПРОИЗВОДСТВО
610 0 ^aЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
610 0 ^aЭЛЕКТРОНIКА
610 0 ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНIКА
610 0 ^aЭЛЕКТРОННЫЯ ПРЫБОРЫ
610 0 ^aПАЎПРАВАДНIКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
610 0 ^aВЫТВОРЧАСЦЬ
610 0 ^aЭЛЕКТРОННАЯ ПРАМЫСЛОВАСЦЬ
700 1 ^aБлинов
^bИ. Г.
^gИван Григорьевич
701 1 ^aКожитов
^bЛ. В.
^gЛев Васильевич
801 0 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20120213
^gpsbo
801 1 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20170521
^gpsbo
690 ^a1
^2Base
^9BY-HR0000
^xRSEK
899 ^aBY-HR0000
^h32.852-5я73
^iБ 69