000 01389cam0 22003971ib4500
001 BY-HR0000-br463229
005 20211216133713.0
010 ^d11к.
100 ^a20120213d1982 i y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aRU
105 ^aa z 000yy
109 ^ada
200 1 ^aЭлектронолитография
^fВасичев,Борис Никитович.
210 ^aМ.
^cЗнание
^d1982
215 ^a64с.
225 0 ^aНовое в жизни, науке, технике. Радиоэлектроника и связь
^v8
345 ^936280 экз.
686 ^a32.86
^v2
^2rubbk
686 ^a47.35
^v4
^2rugasnti
610 0 ^aЭЛЕКТРОНИКА
610 0 ^aКВАНТОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
610 0 ^aФОТОЛИТОГРАФИЯ
610 0 ^aЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ
610 0 ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
610 0 ^aЭЛЕКТРОНIКА
610 0 ^aКВАНТАВАЯ ЭЛЕКТРОНIКА
610 0 ^aЭЛЕКТРОНАГРАФIЯ
610 0 ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
700 1 ^aВасичев
^bБ. Н.
^gБорис Никитович
801 0 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20120213
^gpsbo
801 1 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20170521
^gpsbo
690 ^a1
^2Base
^9BY-HR0000
^xRSEK
899 ^aBY-HR0000
^h32.86
^iВ 19