| 000 | 01660cam0 22004331ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br472681 | ||
| 005 | 20211216133903.0 | ||
| 010 | ^d11к. | ||
| 100 | ^a20120213d1988 i y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aRU | ||
| 105 | ^aa z 000yy | ||
| 109 | ^ada | ||
| 200 | 1 |
^aХимия в микроэлектронике ^eхим. осаждение из газовой фазы ^fРаков,Эдуард Григорьевич. |
|
| 210 |
^aМ. ^cЗнание ^d1988 |
||
| 215 | ^a47с. | ||
| 225 | 0 |
^aНовое в жизни, науке, технике. Химия ^v4 |
|
| 345 | ^927849 экз. | ||
| 686 |
^a34.586 ^v2 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a47.33.31 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ | |
| 610 | 0 | ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aТУГОПЛАВКИЕ СОЕДИНЕНИЯ | |
| 610 | 0 | ^aХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aГАЗОВАЯ ФАЗА | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНАЛОГIЯ | |
| 610 | 0 | ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aХIМIЧНАЕ АСАДЖЭННЕ | |
| 610 | 0 | ^aГАЗАВАЯ ФАЗА | |
| 700 | 1 |
^aРаков ^bЭ. Г. ^gЭдуард Григорьевич |
|
| 701 | 1 |
^aТесленко ^bВ. В. ^gВладимир Викторович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h34.586 ^iР 19 |
||