000 | 01195cam0 22003491ib4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BY-HR0000-br490011 | ||
005 | 20211216134257.0 | ||
010 | ^d1р.47к. | ||
100 | ^a20120213d1977 k y0rusy50 ca | ||
101 | 0 | ^arus | |
102 | ^aRU | ||
105 | ^aa z 000yy | ||
109 | ^aaa | ||
200 | 1 |
^aВведение в фотолитографию ^fЮ.С.Боков и др. ^gпод ред. В.П.Лаврищева |
|
210 |
^aМ. ^cЭнергия ^d1977 |
||
215 | ^a400с. | ||
345 | ^98000 экз. | ||
686 |
^a37.831 ^v2 ^2rubbk |
||
686 |
^a60.29 ^v4 ^2rugasnti |
||
610 | 0 | ^aПОЛИГРАФИЯ | |
610 | 0 | ^aПОЛИГРАФИЧЕСКОЕ ПРОИЗВОДСТВО | |
610 | 0 | ^aФОТОЛИТОГРАФИЯ | |
610 | 0 | ^aПАЛIГРАФIЯ | |
610 | 0 | ^aПАЛIГРАФIЧНАЯ ВЫТВОРЧАСЦЬ | |
701 | 1 |
^aБоков ^bЮ. С. ^gЮрий Сергеевич |
|
701 | 1 |
^aЛаврищев ^bВ. П. ^gВадим Петрович |
|
801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
690 |
^a1 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
899 |
^aBY-HR0000 ^h37.831 ^iВ 24 |