000 02092cam0 22004811ia4500
001 BY-HR0000-br498601
005 20211216134458.0
010 ^d800р.
100 ^a20120213d2007 m y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aBY
109 ^aac
^aaa
200 1 ^aСистема прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники
^eавтореферат диссертации
^e05.27.06
^fАгранович,Александр Александрович.
210 ^aМн.
^d2007
215 ^a22с.
675 ^a621.9.048:681.7.064
^v4
^zrus
686 ^a05.27.06)
^2nsnrrb
686 ^a47.13.11
^v4
^2rugasnti
686 ^a47.13
^v4
^2rugasnti
610 0 ^aПРЕЦИЗИОННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ
610 0 ^aПЛАНАРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
610 0 ^aПРИВОДЫ
610 0 ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
610 0 ^aПОЛУПРОВОДНИКИ
610 0 ^aВЕРИФИКАЦИЯ
610 0 ^aПРОСТРАНСТВЕННЫЕ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ
610 0 ^aОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ
610 0 ^aПРЭЦЫЗIЙНЫЯ ВЫМЯРЭННI
610 0 ^aПЛАНАРНЫЯ ТЭХНАЛОГII
610 0 ^aПРЫВОДЫ
610 0 ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНIКА
610 0 ^aПАЎПРАВАДНIКI
610 0 ^aВЕРЫФIКАЦЫЯ
610 0 ^aПРАСТОРАВЫЯ ПЕРАМЯШЧЭННI
610 0 ^aОПТЫКА-МЕХАНIЧНЫЯ ПРЫБОРЫ
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
700 1 ^aАгранович
^bА. А.
^gАлександр Александрович
801 0 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20120213
^gpsbo
801 1 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20170521
^gpsbo
690 ^a5
^2Base
^9BY-HR0000
^xRSEK
899 ^aBY-HR0000
^h