| 000 | 01504cam0 22003731ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br498602 | ||
| 005 | 20211216134458.0 | ||
| 010 | ^d800р. | ||
| 100 | ^a20120213d2007 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aФормирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники ^eавтореферат диссертации ^e05.27.06 ^fОгер,Виктор Павлович. |
|
| 210 |
^aМн. ^d2007 |
||
| 215 | ^a22с. | ||
| 675 |
^a621.382.002 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.06) ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a47.13.10 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 686 |
^a47.13.11 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aДИСКРЕТНОСТЬ | |
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aПОЗИЦИОНИРОВАНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aКООРДИНАТНАЯ СЕТКА | |
| 610 | 0 | ^aДЫСКРЭТНАСЦЬ | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aПАЗIЦЫЯНIРАВАННЕ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aОгер ^bВ. П. ^gВиктор Павлович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h |
||