000 02037cam0 22005291ia4500
001 BY-HR0000-br573958
005 20211216140111.0
010 ^d1000р.
100 ^a20120213d2009 m y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aBY
109 ^aac
^aaa
200 1 ^aФормирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением
^eавтореферат диссертации
^e05.27.01
^fКоробко Александра Олеговна
210 ^aМн.
^d2009
215 ^a23с.
675 ^a621.382;546.281;546.302
^v4
^zrus
686 ^a05.27.01)
^2nsnrrb
686 ^a47.33
^v4
^2rugasnti
610 0 ^aКРЕМНИЙ
610 0 ^aИОНЫ
610 0 ^aНИКЕЛЬ
610 0 ^aКОБАЛЬТ
610 0 ^aЖЕЛЕЗО
610 0 ^aПАЛЛАДИЙ
610 0 ^aПАРАМАГНЕТИЗМ
610 0 ^aТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ
610 0 ^aТЕРМОСТАБИЛИЗАЦИЯ
610 0 ^aИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
610 0 ^aИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
610 0 ^aКРЭМНIЙ
610 0 ^aIОНЫ
610 0 ^aНIКЕЛЬ
610 0 ^aЖАЛЕЗА
610 0 ^aПАЛАДЫЙ
610 0 ^aПАРАМАГНЕТЫЗМ
610 0 ^aТЭРМIЧНЫ АДПАЛ
610 0 ^aТЭРМАСТАБIЛIЗАЦЫЯ
610 0 ^aIОННАЯ IМПЛАНТАЦЫЯ
610 0 ^aIОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГII
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
700 1 ^aКоробко
^bА. О.
^gАлександра Олеговна
801 0 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20120213
^gpsbo
801 1 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20170521
^gpsbo
690 ^a5
^2Base
^9BY-HR0000
^xRSEK
899 ^aBY-HR0000
^iК 68
^h