| 000 | 01678cam0 22004331ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br587694 | ||
| 005 | 20211216140424.0 | ||
| 010 | ^d1200р. | ||
| 100 | ^a20120213d2010 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aФормирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники ^eавтореферат диссертации ^e05.27.01 ^fТурцевич Аркадий Степанович |
|
| 210 |
^aМн. ^d2010 |
||
| 215 | ^a52с. | ||
| 675 |
^a621.3.049.774:537.311.37 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.01) ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a47.09 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aГАЗОВАЯ ФАЗА | |
| 610 | 0 | ^aСТРУКТУРА | |
| 610 | 0 | ^aМОРФОЛОГИЯ | |
| 610 | 0 | ^aКОНФОРМНОСТЬ | |
| 610 | 0 | ^aЛЕГКОПЛАВКИЕ СТЕКЛА | |
| 610 | 0 | ^aСЕЛЕКТИВНЫЙ ВОЛЬФРАМ | |
| 610 | 0 | ^aПАССИВАЦИЯ | |
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aХIМIЧНАЕ АСАДЖЭННЕ | |
| 610 | 0 | ^aГАЗАВАЯ ФАЗА | |
| 610 | 0 | ^aМАРФАЛОГIЯ | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aТурцевич ^bА. С. ^gАркадий Степанович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^iТ 88 ^h |
||