| 000 | 02044cam0 22004691ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br594505 | ||
| 005 | 20211216140547.0 | ||
| 010 | ^d1200р. | ||
| 100 | ^a20120213d2009 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aФормирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров ^eавтореферат диссертации ^e05.27.01 ^fПлебанович Владимир Иванович |
|
| 210 |
^aМн. ^d2009 |
||
| 215 | ^a22с. | ||
| 675 |
^a537.311.322;621.396.6.049 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.01) ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a47.33.31 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ | |
| 610 | 0 | ^aДИФФУЗИИ | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ | |
| 610 | 0 | ^aРЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ | |
| 610 | 0 | ^aЛЕГИРОВАНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aСУБМИКРОННЫЕ ЧАСТИЦЫ | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aIОННАЯ IМПЛАНТАЦЫЯ | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ПАРАМЕТРЫ | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННАЯ МIКРАСКАПIЯ | |
| 610 | 0 | ^aРЭНТГЕНАСТРУКТУРНЫ АНАЛIЗ | |
| 610 | 0 | ^aЛЕГIРАВАННЕ | |
| 610 | 0 | ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ МIКРАСХЕМЫ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aПлебанович ^bВ. И. ^gВладимир Иванович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^iП 38 ^h |
||