| 000 | 02400cam0 2200361 ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br87639276 | ||
| 005 | 20211216123811.0 | ||
| 100 | ^a20130208d2012 k\\\\rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
^arus ^dbel ^drus ^deng |
|
| 102 | ^aBY | ||
| 105 | ^aa m|||000yy | ||
| 109 |
^aaa ^aac |
||
| 200 | 1 |
^aИнформационно-параметрические методы совершенствования технологии производства субмикронных интегральных микросхем с применением тестовых структур ^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук ^eспециальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах ^fЕмельянов Антон Викторович ^gУчреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
| 210 |
^aМинск ^d2012 |
||
| 215 |
^a24 с. ^cил. |
||
| 300 | ^aРезюме на белорусском, русском и английском языках | ||
| 320 | ^aБиблиография: с. 17—21 (37 назв.) | ||
| 345 | ^960 экз. | ||
| 606 |
^3BY-NLB-ar19436 ^aНАДЕЖНОСТЬ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar2406406 ^aАВТОРЕФЕРАТЫ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar33870 ^aТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar24596 ^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar11906 ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ^2DVNLB |
||
| 675 |
^a621.3.049.77.037.33(043.3) ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^2rugasnti ^a47.33.31 ^96 |
||
| 690 |
^a5 ^2Base ^9HR:DL ^xRSEK |
||
| 700 | 1 |
^3BY-SEK-677116 ^aЕмельянов ^bА. В. ^gАнтон Викторович |
|
| 712 | 0 | 1 |
^aБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ^cМинск ^3BY-NLB-ar186905 ^4995 |
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20130208 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-HR0000 ^iЕ 60 |
||