| 000 | 01431cam0 22003131ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br24601 | ||
| 005 | 20211216123936.0 | ||
| 010 | ^d20000 р. | ||
| 100 | ^a20120213d1999 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aРазработка теоретических и технологических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств ^eАвтореф. диссерт. ^e05.27.07 ^fРусецкий,Анатолий Максимович. |
|
| 210 |
^aМн. ^d1999 |
||
| 675 |
^a621.3.049.77.002.5:681.7.064 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.07) ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a47.13.17 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aТЭХНАЛАГIЧНАЕ АБСТАЛЯВАННЕ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aРусецкий ^bА. М. ^gАнатолий Максимович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h |
||