000 02086cam0 22004931ib4500
001 BY-HR0002-br75377
005 20211216144203.0
010 ^d60к.
100 ^a20140415d1979 j y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aRU
105 ^aa j 000yy
109 ^aga
200 1 ^aХимическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем
^eучебник для ПТУ
^fМокеев,Олег Константинович
^gО.К. Макеев
210 ^aМосква
^cВысшая школа
^d1979
215 ^a272с.
225 0 ^aПрофессионально-техническое образование
345 ^98000 экз.
686 ^a32.852я72
^v2
^2rubbk
610 0 ^aЭЛЕКТРОНИКА
610 0 ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
610 0 ^aЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ
610 0 ^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
610 0 ^aПРОИЗВОДСТВО
610 0 ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
610 0 ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ
610 0 ^aХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
610 0 ^aФОТОЛИТОГРАФИЯ
610 0 ^aЭЛЕКТРОНIКА
610 0 ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНIКА
610 0 ^aЭЛЕКТРОННЫЯ ПРЫБОРЫ
610 0 ^aПАЎПРАВАДНIКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
610 0 ^aВЫТВОРЧАСЦЬ
610 0 ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
610 0 ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ МIКРАСХЕМЫ
610 0 ^aХIМIЧНАЯ АПРАЦОЎКА
700 1 ^aМокеев
^bО. К.
^gОлег Константинович
701 1 ^aРоманов
^bА. С.
^gАлександр Сергеевич
801 0 ^aBY
^bBY-HR0002
^c20140415
^gpsbo
801 1 ^aBY
^bBY-HR0002
^c20170526
^gpsbo
690 ^a1
^2Base
^9BY-HR0002
^xRSEK
899 ^aBY-HR0002
^h32.852я72
^iМ 74