| 000 | 02086cam0 22004931ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0002-br75377 | ||
| 005 | 20211216144203.0 | ||
| 010 | ^d60к. | ||
| 100 | ^a20140415d1979 j y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aRU | ||
| 105 | ^aa j 000yy | ||
| 109 | ^aga | ||
| 200 | 1 |
^aХимическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем ^eучебник для ПТУ ^fМокеев,Олег Константинович ^gО.К. Макеев |
|
| 210 |
^aМосква ^cВысшая школа ^d1979 |
||
| 215 | ^a272с. | ||
| 225 | 0 | ^aПрофессионально-техническое образование | |
| 345 | ^98000 экз. | ||
| 686 |
^a32.852я72 ^v2 ^2rubbk |
||
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ | |
| 610 | 0 | ^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ | |
| 610 | 0 | ^aПРОИЗВОДСТВО | |
| 610 | 0 | ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА | |
| 610 | 0 | ^aФОТОЛИТОГРАФИЯ | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНIКА | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННЫЯ ПРЫБОРЫ | |
| 610 | 0 | ^aПАЎПРАВАДНIКОВЫЯ ПРЫБОРЫ | |
| 610 | 0 | ^aВЫТВОРЧАСЦЬ | |
| 610 | 0 | ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ МIКРАСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aХIМIЧНАЯ АПРАЦОЎКА | |
| 700 | 1 |
^aМокеев ^bО. К. ^gОлег Константинович |
|
| 701 | 1 |
^aРоманов ^bА. С. ^gАлександр Сергеевич |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0002 ^c20140415 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0002 ^c20170526 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-HR0002 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0002 ^h32.852я72 ^iМ 74 |
||