000 | 02086cam0 22004931ib4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BY-HR0002-br75377 | ||
005 | 20211216144203.0 | ||
010 | ^d60к. | ||
100 | ^a20140415d1979 j y0rusy50 ca | ||
101 | 0 | ^arus | |
102 | ^aRU | ||
105 | ^aa j 000yy | ||
109 | ^aga | ||
200 | 1 |
^aХимическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем ^eучебник для ПТУ ^fМокеев,Олег Константинович ^gО.К. Макеев |
|
210 |
^aМосква ^cВысшая школа ^d1979 |
||
215 | ^a272с. | ||
225 | 0 | ^aПрофессионально-техническое образование | |
345 | ^98000 экз. | ||
686 |
^a32.852я72 ^v2 ^2rubbk |
||
610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОНИКА | |
610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА | |
610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ | |
610 | 0 | ^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ | |
610 | 0 | ^aПРОИЗВОДСТВО | |
610 | 0 | ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | |
610 | 0 | ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ | |
610 | 0 | ^aХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА | |
610 | 0 | ^aФОТОЛИТОГРАФИЯ | |
610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОНIКА | |
610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНIКА | |
610 | 0 | ^aЭЛЕКТРОННЫЯ ПРЫБОРЫ | |
610 | 0 | ^aПАЎПРАВАДНIКОВЫЯ ПРЫБОРЫ | |
610 | 0 | ^aВЫТВОРЧАСЦЬ | |
610 | 0 | ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ | |
610 | 0 | ^aIНТЭГРАЛЬНЫЯ МIКРАСХЕМЫ | |
610 | 0 | ^aХIМIЧНАЯ АПРАЦОЎКА | |
700 | 1 |
^aМокеев ^bО. К. ^gОлег Константинович |
|
701 | 1 |
^aРоманов ^bА. С. ^gАлександр Сергеевич |
|
801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0002 ^c20140415 ^gpsbo |
|
801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0002 ^c20170526 ^gpsbo |
|
690 |
^a1 ^2Base ^9BY-HR0002 ^xRSEK |
||
899 |
^aBY-HR0002 ^h32.852я72 ^iМ 74 |