000 02266cam0 2200409 ia4500
001 BY-HR0000-br87662583
005 20211216124459.0
100 ^a20140217d2013 k y0rusy50 ca
101 0 ^arus
^drus
^dbel
^deng
102 ^aBY
105 ^aa m|||000yy
109 ^aaa
^aac
200 1 ^aОсобенности формирования микро- и нанорельефа поверхности монокристаллического кремния при химическом растворении
^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
^eспециальность 02.00.04 Физическая химия
^fУсенко Александра Евгеньевна
^gБелорусский государственный университет
210 ^aМинск
^d2013
215 ^a24 с.
^cил., табл.
300 ^aРезюме на русском, белорусском и английском языках
320 ^aБиблиография: с. 17—21 (29 назв.)
345 ^999 экз.
606 ^3BY-NLB-ar3341921
^aМОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
^2DVNLB
606 ^3BY-NLB-ar82974
^aРАСТВОРЕНИЕ
^2DVNLB
606 ^3BY-NLB-ar34342
^aТРАВЛЕНИЕ
^2DVNLB
606 ^3BY-NLB-ar2047
^aАКТИВАЦИЯ
^2DVNLB
606 ^3BY-NLB-ar4791765
^aФТОРИСТОВОДОРОДНАЯ КИСЛОТА
^2DVNLB
606 ^3BY-NLB-ar2438465
^aОКИСЛИТЕЛИ
^2DVNLB
606 ^3BY-NLB-ar2406406
^aАВТОРЕФЕРАТЫ
^2DVNLB
610 0 ^aКалия гидроксид
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
675 ^a546.28-162(043.3)
^v4
^zrus
686 ^2rugasnti
^a31.17
^96
690 ^a5
^2Base
^9HR:DL
^xRSEK
700 1 ^3BY-RLST-ar598722
^aУсенко
^bА. Е.
^gАлександра Евгеньевна
712 0 2 ^3BY-NLB-ar167094
^aБелорусский государственный университет
^cМинск
^4995
^4595
801 0 ^aBY
^bBY-HR0000
^c20140217
^gpsbo
899 ^aBY-HR0000
^iУ 74