| 000 | 01485cam0 22003491ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br80331 | ||
| 005 | 20211216125838.0 | ||
| 010 | ^d50р. | ||
| 100 | ^a20120213d2000 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aСтруктурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов ^eАвтореф. диссерт. ^e05.27.01 ^fЩербакова,Елена Николаевна. |
|
| 210 |
^aМн. ^d2000 |
||
| 675 |
^a669.017.3:539.216.2:621.739 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.01) ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a47.33 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aТОНКИЕ ПЛЕНКИ | |
| 610 | 0 | ^aСТРУКТУРНЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЯ | |
| 610 | 0 | ^aФАЗОВЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЯ | |
| 610 | 0 | ^aПЛАЗМА | |
| 610 | 0 | ^aТОНКIЯ ПЛЁНКI | |
| 610 | 0 | ^aСТРУКТУРНЫЯ ПЕРАТВАРЭННI | |
| 610 | 0 | ^aФАЗАВЫЯ ПЕРАТВАРЭННI | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aЩербакова ^bЕ. Н. ^gЕлена Николаевна |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h |
||