| 000 | 01867cam0 22004571ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br85781 | ||
| 005 | 20211216130111.0 | ||
| 010 | ^d200р. | ||
| 100 | ^a20120213d2001 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aМногомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении ^eАвтореф. диссерт. ^e05.27.01 ^fНелаев,Владислав Викторович. |
|
| 210 |
^aМн. ^d2001 |
||
| 675 |
^a621.382;548.4;53.072:681.3 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.01) ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a47.33 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 610 | 0 | ^aФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ | |
| 610 | 0 | ^aМОДЕЛИРОВАНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aТЕХНОЛОГИЯ | |
| 610 | 0 | ^aИМПЛАНТАЦИЯ | |
| 610 | 0 | ^aОКИСЛЕНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aДИФФУЗИЯ | |
| 610 | 0 | ^aИНТЕРНЕТ | |
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aФIЗIКА-МАТЭМАТЫЧНЫЯ МЕТАДЫ | |
| 610 | 0 | ^aМАДЭЛIРАВАННЕ | |
| 610 | 0 | ^aТЭХНАЛОГIЯ | |
| 610 | 0 | ^aIМПЛАНТАЦЫЯ | |
| 610 | 0 | ^aАКIСЛЕННЕ | |
| 610 | 0 | ^aДЫФУЗIЯ | |
| 610 | 0 | ^aIНТЭРНЕТ | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aНелаев ^bВ. В. ^gВладислав Викторович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h |
||