| 000 | 01219cam0 22003131ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-HR0000-br87861 | ||
| 005 | 20211216130138.0 | ||
| 010 | ^d200р. | ||
| 100 | ^a20120213d2001 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aФормирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда ^eАвтореф. диссерт. ^e05.27.06 ^fГрунский,Дмитрий Игоревич. |
|
| 210 |
^aМн. ^d2001 |
||
| 675 |
^a621.315.592:539.213:681.586 ^v4 ^zrus |
||
| 686 |
^a05.27.06) ^2nsnrrb |
||
| 610 | 0 | ^aСПЕКТРОСКОПИЯ | |
| 610 | 0 | ^aКРЕМНИЙ | |
| 610 | 0 | ^aПЛАЗМА | |
| 610 | 0 | ^aСПЕКТРАСКАПIЯ | |
| 610 | 0 | ^aКРЭМНIЙ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 700 | 1 |
^aГрунский ^bД. И. ^gДмитрий Игоревич |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20120213 ^gpsbo |
|
| 801 | 1 |
^aBY ^bBY-HR0000 ^c20170521 ^gpsbo |
|
| 690 |
^a5 ^2Base ^9BY-HR0000 ^xRSEK |
||
| 899 |
^aBY-HR0000 ^h |
||