Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : Автореф. диссерт. : 05.27.01 / Прудник,Александр Михайлович.
Автор(ы): Прудник, Александр МихайловичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2002ББК: 05.27.01 ; 47.01Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.