Интегрированные ионно - плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях : Автореф. диссерт. : 05.27.06 / Завадский,Сергей Михайлович.
Автор(ы): Завадский, Сергей МихайловичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2002ББК: 05.27.06 ; 47.13.11Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.