Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии : Автореф. диссерт. : 01.04.10 / Петлицкий,Александр Николаевич.
Автор(ы): Петлицкий, Александр НиколаевичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2004ББК: 01.04.10) ; 29.19.31Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.