Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / Ф.Ф.Комаров, В.С.Соловьев, С.Ю.Ширяев
Автор(ы): Комаров, Ф. Ф.Язык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн. : Университетское, 1990Физическая характеристика: 319с.ББК: 22.379.2 ; 29.19Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.