Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Колос Владимир Владимирович ; Белорусский государственный университет

Автор(ы): Колос, Владимир Владимирович, физикОтветственные организации: Белорусский государственный университет, МинскЯзык документа: Русский ; of summary,Английский ; of summary,Русский ; of summary,Белорусский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2012Физическая характеристика: 23 с. : ил.ББК: 01.04.07 ; 47.13.11 ; 47.13.33 ; 29.19.16 ; 29.31.26 ; 29.35.43Note(s): Резюме на белорусском, русском и английском языках; Библиография: с. 16—20 (29 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ | СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ | МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ | ВАКУУМНО-ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА | ТЕРМИЧЕСКОЕ НАПЫЛЕНИЕ | МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ | ТИТАНА СИЛИЦИДЫ | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ | ЛЕГИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ | ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ | ТВЕРДОФАЗНЫЕ РЕАКЦИИ | СТРУКТУРНЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ | ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ | СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ | ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ | РАСТРОВАЯ МИКРОСКОПИЯ | ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ | ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ Предметная категория: Белорусский национальный документ Электронный адрес документа и доступ к нему: Щелкните здесь для доступа в онлайн
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение url Состояние
Авторефераты диссертаций/диссертации Авторефераты диссертаций/диссертации
ГОНБ. Книгохранение
http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/41551/2/default.htm Выдается

Резюме на белорусском, русском и английском языках

Библиография: с. 16—20 (29 назв.)

80 экз.

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: