Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханических систем и полупроводниковых приборов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Ковальчук Наталья Станиславовна ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

Автор(ы): Ковальчук, Наталья СтаниславовнаОтветственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, МинскЯзык документа: Русский ; of summary,Белорусский ; of summary,Русский ; of summary,Английский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2012Физическая характеристика: 23 с.ББК: 05.27.01 ; 47.33 ; 47.13.11 ; 50.09.37 ; 50.13 ; 29.19.16 ; 29.19.22Note(s): Резюме на белорусском, русском и английском языках; Библиография: с. 17—20 (26 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ | МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ | ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ | МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ | МЕМБРАНЫ (техника) | КРЕМНИЯ НИТРИД | ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ | ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ | ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ | ОСТАТОЧНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ | МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА Предметная категория: Белорусский национальный документ Электронный адрес документа и доступ к нему: Щелкните здесь для доступа в онлайн
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение url Состояние
Авторефераты диссертаций/диссертации Авторефераты диссертаций/диссертации
ГОНБ. Книгохранение
http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/41369/2/default.htm Выдается

Резюме на белорусском, русском и английском языках

Библиография: с. 17—20 (26 назв.)

60 экз.

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: