Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю.А.Быстров, Е.А.Колгин, Б.Н.Котлецов
Автор(ы): Быстров, Юрий Александрович;
Колгин, Е. А.;
Котлецов, Б. Н.Язык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Радио и связь, 1988Физическая характеристика: 167с.ISBN:5-256-00006-3.ББК: 32.844.1 ; 47.14.17Note(s): Библиогр.: с. 162-166.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.