Технология производства микроэлектронных устройств : учебник для сред. спец. учеб. заведений по спец. "Пр-во микроэлектрон. устройств" / Малышева,Идея Александровна.
Автор(ы): Малышева, Идея АлександровнаЯзык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Энергия, 1980Физическая характеристика: 455с.ББК: 32.844.1я72 ; 47.33.37Note(s): Предм. указ.: с. 439-441; Библиогр.: с. 437-438 (25 назв.).
Нет никаких комментариев для этого документа.