Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы : учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 0658 "Пр-во микроэлектрон. устройств" / Ю.В.Панфилов, В.Т.Рябов, Ю.Б.Цветков
Автор(ы): Панфилов, Юрий Васильевич; Рябов, Владимир Тимофеевич; Цветков, Юрий БорисовичЯзык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Радио и связь, 1988Физическая характеристика: 320с.ISBN:5-256-00062-4.ББК: 32.844.15-5-05я72 ; 47.01.33 ; 47.33.31Note(s): Библиогр.: с. 318 (13 назв.).
Нет никаких комментариев для этого документа.