Оборудование полупроводникового производства : учеб. пособие для вузов / Блинов,Иван Григорьевич.
Автор(ы): Блинов, Иван Григорьевич;
Кожитов, Лев ВасильевичЯзык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Машиностроение, 1986Физическая характеристика: 263с.ББК: 32.852-5я73 ; 47.09.29 ; 47.13.11
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.