Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем : учеб. для ПТУ / Мокеев,Олег Константинович.
Автор(ы): Мокеев, Олег Константинович;
Романов, Александр СергеевичЯзык документа: Русский.Страна публикации: RU.Сведения об издании: 2-е изд., перераб.Издательство: М. : Высшая школа, 1985Физическая характеристика: 312с.ББК: 32.852-06я72 ; 47.13.11
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.