Химия в микроэлектронике : хим. осаждение из газовой фазы / Раков,Эдуард Григорьевич.
Автор(ы): Раков, Эдуард Григорьевич;
Тесленко, Владимир ВикторовичЯзык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Знание, 1988Физическая характеристика: 47с.ББК: 34.586 ; 47.33.31
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.