Введение в фотолитографию / Ю.С.Боков и др. ; под ред. В.П.Лаврищева
Автор(ы): Боков, Юрий Сергеевич;
Лаврищев, Вадим ПетровичЯзык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Энергия, 1977Физическая характеристика: 400с.ББК: 37.831 ; 60.29
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.