Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники : автореферат диссертации : 05.27.06 / Огер,Виктор Павлович.
Автор(ы): Огер, Виктор ПавловичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2007Физическая характеристика: 22с.ББК: 05.27.06) ; 47.13.10 ; 47.13.11Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.