Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники : автореферат диссертации : 05.27.06 / Аваков,Сергей Мирзоевич.
Автор(ы): Аваков, Сергей МирзоевичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2007Физическая характеристика: 42с.ББК: 05.27.06) ; 29.19.31Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.