Формирование из газовой фазы функциональных слоев интегральных микросхем / А.С.Турцевич, А.В.Емельянов
Автор(ы): Турцевич, Аркадий Степанович;
Емельянов, Антон ВикторовичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн. : Интегралполиграф, 2007Физическая характеристика: 221с.ISBN:978-985-6845-03-4.ББК: 32.844.15-06 ; 47.33.31Note(s): Библиогр.: с. 219-221.Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.