Информационно-параметрические методы совершенствования технологии производства субмикронных интегральных микросхем с применением тестовых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Емельянов Антон Викторович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
Нет никаких комментариев для этого документа.