Электрохимическое и химическое формирование наноразмерных межсоединений элементов кремниевых интегральных микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Дубин Валерий Михайлович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
Нет никаких комментариев для этого документа.