Технология получения многослойных материалов для защиты интегральных микросхем от высокоскоростных потоков микрочастиц : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.02.07 Технология и оборудование механической и физико-технической обработки / Овчинников Владимир Ильич ; Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси"
Нет никаких комментариев для этого документа.