Мультисенсорная микросистема повышенной эффективности контроля газовой среды на основе подложек из кремния и пористого оксида алюминия : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.11.01 Приборы и методы измерения / Реутская Ольга Геннадьевна ; Белорусский национальный технический университет
Нет никаких комментариев для этого документа.